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產品分類：Aera質量流量控制器
數字式;
流量范圍:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS);
正常工作壓力:50 psig(345 kPag)
單位：臺 產地：美國 交貨周期：6周 保期：一年 驗收標準：OEM標準
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